原來三維表面形貌測量儀還可以應(yīng)用在這些領(lǐng)域中

更新時(shí)間：2022-07-08 點(diǎn)擊次數(shù)：1685

　　隨著半導(dǎo)體技術(shù)的電子技術(shù)工藝的發(fā)展，電子產(chǎn)品都往小型化，輕薄化發(fā)展。iWatch的一經(jīng)推出，穿戴電子產(chǎn)品成為了一個(gè)新的電子設(shè)備應(yīng)用潮流。隨著電子產(chǎn)品的小型化，器件體積越做越小，空間就緊湊起來，這對器件加工尺寸及工藝的容差要求就越來越高。如何管控器件的尺寸及加工工藝對檢測手段提出了新的挑戰(zhàn)。原來很多制程工序只要管控2D的尺寸，現(xiàn)在需要管控3D的尺寸，而且精度要求都在微米級別，這就需要一個(gè)高速、高精度的測量手段來管控生產(chǎn)品質(zhì)。

　　三維表面形貌測量儀應(yīng)運(yùn)而生，這款儀器采用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術(shù)，能夠高精度還原產(chǎn)品的3D結(jié)構(gòu)，對肉眼不可見的結(jié)構(gòu)缺陷都能準(zhǔn)確檢測。因?yàn)榫哂休^快的掃描速度，微米級別的精度和較強(qiáng)的穩(wěn)定性，一經(jīng)推出立馬成為精密生產(chǎn)商的新寵。在精密鑄件、精密點(diǎn)膠、3D玻璃，半導(dǎo)體缺陷檢測和多層光學(xué)薄膜厚度檢測，就是這款產(chǎn)品的主要應(yīng)用領(lǐng)域。

　　三維表面形貌測量儀的主要應(yīng)用：

　　1、3D玻璃缺陷檢測；

　　2、半導(dǎo)體表面缺陷測試；

　　3、多層薄膜厚度測試；

　　4、精密部件3D尺寸及段差測試；

　　5、精密點(diǎn)膠膠線截面、膠線寬度、膠線高度測試。

　　產(chǎn)品特性：

　　1、采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級的分辨率；

　　2、測量具有非破壞性，測量速度快，精確度高；

　　3、測量范圍廣，可測透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料；

　　4、尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面；

　　5、不受樣品反射率的影響；

　　6、不受環(huán)境光的影響；

　　7、測量簡單，樣品無需特殊處理。

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